大国重器获进展 中国芯片高端装备迈向新征程

2017-12-18 12:43 来源:科技日报 | 整理: 浏阳之窗 | 类别:IT科技 | 参与评论

大国重器 芯片高端装备迈向新征程

——中电科电子装备集团有限公司砥砺攻关国家02专项纪实

孙友芳

日前,中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)传来好消息,自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万,首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项(以下简称02专项)所取得重大成果的缩影。

9年间,电科装备共承担了02专项“90—65nm大角度离子注入机研发及产业化”“封装设备关键部件与核心技术”“45—22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”“28—14nm抛光设备及成套工艺、材料产业化”“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化”等项目。

9年来,在02专项的支持下,电科装备先后突破了离子注入机、化学机械抛光设备(CMP)等若干攻关难度大、带动力强的集成电路关键装备核心技术;取得了发明专利授权146项,获得了省部级以上奖励22项;建成了符合SEMI标准的离子注入机批量制造平台、设立博士后科研工作站;CMP研发平台获批“北京市化学机械平坦化工艺设备工程技术研究中心”;国产首台离子注入机、200mmCMP设备进入中芯国际大生产线,先进封装设备具备集成服务能力,进入国内先进封装龙头企业……

千锤百炼 抒写国芯基石的责任与担当

集成电路芯片是信息时代的核心基石,集成电路制造技术代表着当今世界超精密制造的最高水平,集成电路产业已成为影响社会、经济和国防的安全保障与综合竞争力的战略性产业。

然而,由于集成电路产业资金密集型、技术密集型、人才密集型的特点,长期以来,我国集成电路产业一直受到西方在先进制造装备、材料和工艺等方面的种种制约,高端芯片主要依赖进口。我国集成电路产品连续多年每年进口额超过2000亿美元,超过石油成为最大宗进口产品。

猜你还感兴趣:关于""的文章

大家都在看